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我院邓万宇教授研制的“半导体引线框架曝光缺陷智能检测设备”正式在天水华洋科技公司落地应用 |
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近日，由西安邮电大学计算机学院邓万宇教授团队研制的“半导体引线框架曝光缺陷智能检测设备”正式在天水华洋科技公司落地应用。该设备与前期研制的“半导体引线框架光刻掩膜缺陷智能检测设备”、“半导体引线框架镀银缺陷智能检测设备”共同构筑了覆盖半导体引线框架生产全流程的完整品控防火墙，实现了蚀刻引线框架生产工艺质量监测的全贯通。
针对企业痛点，我院邓万宇教授结合多年来在人工智能、精密视觉等方面的技术积累和丰富经验，相继攻克精密滑台运动控制、全自动无干扰智能检测模型构建、物理偏差自动协作校正等关键技术，成功研制了国内首台“半导体引线框架曝光缺陷智能检测设备”，并已在天水华洋科技公司落地应用，获得了客户的高度肯定。该设备具有以下特点：（1）实现引线框架曝光不全、漏铜、纹理偏移等各种缺陷全覆盖；（2）采用先进的人工智能算法自我学习检测模型，解除了当前AOI（自动光学检测）需要费时费力构建模板的滞碍；（3）支持铜、银、膜三种及以上材料的复杂蚀刻工艺；（4）支持金相高倍显微镜快速回看；（5）基于GPU超线程技术实现了检测速度的飞速提升，检测270mm×240mm引线框架仅需不到1—2分钟。该设备具有完全的自主知识产权，对助推我国半导体产业链的自主、可控发展具有积极意义。
邓万宇，教授 ，数据科学与大数据系主任，陕西省青年科技新星，研究生导师，西安交通大学博士，新加坡南洋理工大学博士后，美国爱荷华大学访问学者。主要研究方向：大数据、人工智能、深度学习。先后主持国家自然科学基金2项，省科技计划1项、省教育厅服务地方专项1项、科技专项2项。在国内外知名学术刊物《IEEE Transactions on Neural Networks and Learning Systems》、《Neural Networks》、《Neurocomputing》、《计算机学报》及IEEE、ACM等国际会议上发表学术论文70余篇（其中SCI/EI收录30余篇）。获陕西省高等学校科学技术二等奖、计算机学报最佳论文奖、陕西省自然科学优秀论文奖等奖励。 计算机学院 |
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